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半导体材料表征求教，不同面偏角锗片的表征确定手段
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请问，对于购买回来的有面偏角（offcut）的Ge片，怎么去表征我购买的Ge片达到技术要求呢？ 比如：购买的6度Ge(100),怎么表征是6度呢？XRD是否能表征出来，怎么看？ |
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