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硅片做扩散如何测试pn结结深(深结扩散)?
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果果陶陶
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专业: 半导体材料
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硅片做扩散如何测试pn结结深(深结扩散)?
在掺杂硅片表面做扩散形成pn结,扩散深度>10微米,剥离或者腐蚀测结深的方法基本不适合了,还有没有其他方法可以测试呢?或者哪里有对外测试的扩展电阻仪?
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2017-10-11 11:13:38
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注册: 2017-12-05
专业: 集成电路制造与封装
请问贴主后面找到测扩散硅结深的方法了吗
发自小木虫IOS客户端
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2楼
2023-03-16 22:07:46
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