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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 咨询一下，有哪里可以做直径10um的孔 深度不要求
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zxmgq

金虫 (小有名气)

[求助] 咨询一下，有哪里可以做直径10um的孔 深度不要求 已有2人参与

目前自己想在碳酸钙材质的石头表面做出一些小孔 小孔直径10um  规则排列 孔和孔的间距也在10um左右 咨询一下有没有哪里可以做 或者说有什么方法可以达到这种精度。
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1楼 2017-10-10 19:43:39
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zxmgq: 金币+8, ★★★很有帮助 2017-10-10 22:30:04
激光可以打次微孔 10um，但是在金属上的，碳酸钙不过可以试试。
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4楼2017-10-10 21:39:35
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hsdwlxhx

金虫 (正式写手)
机械打孔肯定实现不了，激光烧蚀也达不到这么小的精度，如果是平整表面的薄片，或许可以用光刻湿法腐蚀工艺制备。最后一个绝招FIB,聚焦离子束，原则上可以，不过超级贵

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BringLightonChip
2楼2017-10-10 19:49:43
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zxmgq

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hsdwlxhx at 2017-10-10 19:49:43
机械打孔肯定实现不了，激光烧蚀也达不到这么小的精度，如果是平整表面的薄片，或许可以用光刻湿法腐蚀工艺制备。最后一个绝招FIB,聚焦离子束，原则上可以，不过超级贵
...

好的 谢谢 我了解一下
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3楼2017-10-10 20:04:54
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zxmgq

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 13813921817 at 2017-10-10 21:39:35
激光可以打次微孔 10um，但是在金属上的，碳酸钙不过可以试试。

谢谢，目前了解到激光可能可以实现，正在联系相关的单位进行测试和加工 谢谢
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5楼2017-10-10 22:31:57
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