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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀膜时，镀膜自偏压变怎么回事？
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜时，镀膜自偏压变怎么回事？ 已有1人参与

请前辈们指教一二！

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1楼 2017-10-08 14:30:44
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豆浆油条555

新虫 (正式写手)
我用的是cvd

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2楼2017-10-08 16:25:33
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灵魂收割

木虫 (小有名气)
辉光放电不稳定吧

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

霸天虎123
3楼2017-10-09 09:29:50
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 灵魂收割 at 2017-10-09 09:29:50
辉光放电不稳定吧

请问前辈！镀的膜像拿出来像沙子一样酥掉了？请问怎么回事？

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4楼2017-10-14 17:43:26
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 灵魂收割 at 2017-10-09 09:29:50
辉光放电不稳定吧

前辈，那个机械泵往外喷油是怎么回事？

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5楼2017-11-02 17:29:54
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申锋涛

铁虫 (初入文坛)
一般金属膜需要加载偏压，加载偏压对膜层致密程度影响较大，另外一般离子清洗需将偏压调整较高情况进行。
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6楼2017-11-21 22:26:49
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无限_love

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 霸天虎123 at 2017-11-02 17:29:54
前辈，那个机械泵往外喷油是怎么回事？
...

应该是机械泵的哪个阀门松了，才会漏油，我们这用的沈科仪的设备，机械泵下面的一个阀门松了，现在也是有点漏油。
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7楼2018-01-13 09:18:51
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无限_love

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by 霸天虎123 at 2017-10-14 17:43:26
请问前辈！镀的膜像拿出来像沙子一样酥掉了？请问怎么回事？
...

应该是结合力太差或者薄膜内应力比较大吧，镀的时候加基体偏压试试。
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8楼2018-01-13 09:21:31
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