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机械小硕在读新虫 (小有名气)
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[求助]
电子束光刻图形失真 已有1人参与
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最近用利用电子束曝光光刻一个微米环，内径8微米，光刻显影后总是呈现一个完整的圆形区域，不知道是因为对焦不精确还是曝光剂量设置的原因，求助各路大神。PS:光刻设备是从中科院电工所购得的，一个灯丝发射的扫描电镜，配备一个纳米图形发生器，通常在20万倍下对焦，对焦总感觉不准确；光刻胶为2%，950k的PMMA。 49T)45HPP_VDHW)T3K`U489.png  R4@641J`~FE%EHTB2[6]M5C.png@yswyx |
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