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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束光刻图形失真
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机械小硕在读

新虫 (小有名气)

[求助] 电子束光刻图形失真 已有1人参与

最近用利用电子束曝光光刻一个微米环，内径8微米，光刻显影后总是呈现一个完整的圆形区域，不知道是因为对焦不精确还是曝光剂量设置的原因，求助各路大神。PS:光刻设备是从中科院电工所购得的，一个灯丝发射的扫描电镜，配备一个纳米图形发生器，通常在20万倍下对焦，对焦总感觉不准确；光刻胶为2%，950k的PMMA。
电子束光刻图形失真
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电子束光刻图形失真-1
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1楼 2017-10-04 11:21:27
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
机械小硕在读: 金币+10, ★有帮助 2017-10-09 20:40:25
没看懂你的描述。电镜图也实在是不太清楚 ：（
颜色深的地方是衬底？颜色浅的是胶？还是反过来？
你要不直接发邮件给我吧，我发到你短信里面。
还有，小木虫的提醒很多我看不到，不知道为什么？
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2楼2017-10-09 15:22:23
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机械小硕在读

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-10-09 15:22:23
没看懂你的描述。电镜图也实在是不太清楚 ：（
颜色深的地方是衬底？颜色浅的是胶？还是反过来？
你要不直接发邮件给我吧，我发到你短信里面。
还有，小木虫的提醒很多我看不到，不知道为什么？

好的，十分感谢

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3楼2017-10-09 20:39:51
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