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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » AE电源直流磁控镀膜，恒功率控制，靶电压一直上升是怎么回事
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kkuklx

新虫 (初入文坛)

[交流] AE电源直流磁控镀膜，恒功率控制，靶电压一直上升是怎么回事

AE电源直流磁控镀膜，恒功率控制，靶电压一直上升是怎么回事？分别镀铝和铜合金靶材。材料一样，磁铁正常，气氛正常。。。有碰到同样情况的大神并且有解决的吗？
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1楼 2017-09-30 11:06:06
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kkuklx

新虫 (初入文坛)
3台磁控溅射机器，两台正常，一台就不正常。参数都是一样的！不正常的3个溅射室，6个靶位，同时只开3个，由于电源可以是双镀膜的，所以只开3个而不是6个
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2楼2017-09-30 11:08:53
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m452193160

新虫 (小有名气)
★
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
可能气压太低了

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3楼2017-09-30 19:38:51
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wdxmu4楼
2017-09-30 23:15   回复  
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
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xxxia5楼
2017-10-01 00:47   回复  
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
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4104397326楼
2017-10-02 00:15   回复  
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
nono20097楼
2017-10-04 22:31   回复  
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
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