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kkuklx

新虫 (初入文坛)


[交流] AE电源直流磁控镀膜,恒功率控制,靶电压一直上升是怎么回事

AE电源直流磁控镀膜,恒功率控制,靶电压一直上升是怎么回事?分别镀铝和铜合金靶材。材料一样,磁铁正常,气氛正常。。。有碰到同样情况的大神并且有解决的吗?
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kkuklx

新虫 (初入文坛)


3台磁控溅射机器,两台正常,一台就不正常。参数都是一样的!不正常的3个溅射室,6个靶位,同时只开3个,由于电源可以是双镀膜的,所以只开3个而不是6个
2楼2017-09-30 11:08:53
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m452193160

新虫 (小有名气)



kkuklx(金币+1): 谢谢参与
可能气压太低了

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3楼2017-09-30 19:38:51
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wdxmu4楼
2017-09-30 23:15   回复  
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
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xxxia5楼
2017-10-01 00:47   回复  
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
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4104397326楼
2017-10-02 00:15   回复  
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
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nono20097楼
2017-10-04 22:31   回复  
kkuklx(金币+1): 谢谢参与
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