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AE电源直流磁控镀膜,恒功率控制,靶电压一直上升是怎么回事
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kkuklx
新虫
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AE电源直流磁控镀膜,恒功率控制,靶电压一直上升是怎么回事
AE电源直流磁控镀膜,恒功率控制,靶电压一直上升是怎么回事?分别镀铝和铜合金靶材。材料一样,磁铁正常,气氛正常。。。有碰到同样情况的大神并且有解决的吗?
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2017-09-30 11:06:06
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kkuklx
新虫
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虫号: 1149122
3台磁控溅射机器,两台正常,一台就不正常。参数都是一样的!不正常的3个溅射室,6个靶位,同时只开3个,由于电源可以是双镀膜的,所以只开3个而不是6个
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2楼
2017-09-30 11:08:53
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m452193160
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kkuklx(金币+1): 谢谢参与
可能气压太低了
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3楼
2017-09-30 19:38:51
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wdxmu
4楼
2017-09-30 23:15
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xxxia
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2017-10-01 00:47
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410439732
6楼
2017-10-02 00:15
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nono2009
7楼
2017-10-04 22:31
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kkuklx(金币+1): 谢谢参与
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