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Cu箔上溅射一层Si薄膜,怎么用台阶仪测厚度
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清香满径
木虫
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Cu箔上溅射一层Si薄膜,怎么用台阶仪测厚度
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各位虫友们!
最近做锂电池硅基负极,在Cu箔上用磁控溅射溅射一层Si薄膜,
1 怎么制造台阶,方便用台阶仪测厚度?
2 用台阶仪测试的时候测试人员说 铜表面太粗糙了测不了,
应该对铜箔表面怎么样处理平整?
导师让我们获得Si和C的生长速率。
3 铜箔买的是厚9um双面光滑的。
4 在进行磁控溅射之前,铜箔应该怎么清洗才合适。
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沉积速率基本相同材料基体上的沉积速率变化不大,你可以不在cu箔上沉积,可以在厚Cu片上,或者玻璃上镀Cu上沉积Si,专门用于测量膜厚,也就是标定沉积速率呀。
只是个建议,如果不合适见谅。
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24楼
2017-11-21 16:26:52
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汇利丰铜箔
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★
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1、双面光铜箔的光洁度一般在0.4微米左右. 2 、铜箔的厚度并不是均匀的,各点测出来的都不一样。 3、是否考虑用测重法计算出溅射层厚度的平均值?
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25楼
2017-12-20 11:20:07
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迟钝的天才
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star19911128
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wimar
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pandongzi
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baijiazi
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hyong915
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nono2009
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twinsying
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23楼
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