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清香满径

木虫 (正式写手)
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Cu箔上溅射一层Si薄膜，怎么用台阶仪测厚度
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各位虫友们！
最近做锂电池硅基负极，在Cu箔上用磁控溅射溅射一层Si薄膜，
1 怎么制造台阶，方便用台阶仪测厚度？
2  用台阶仪测试的时候测试人员说  铜表面太粗糙了测不了，
应该对铜箔表面怎么样处理平整？
导师让我们获得Si和C的生长速率。
3  铜箔买的是厚9um双面光滑的。
4  在进行磁控溅射之前，铜箔应该怎么清洗才合适。

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1楼 2017-09-27 18:51:41
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
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沉积速率基本相同材料基体上的沉积速率变化不大，你可以不在cu箔上沉积，可以在厚Cu片上，或者玻璃上镀Cu上沉积Si，专门用于测量膜厚，也就是标定沉积速率呀。

只是个建议，如果不合适见谅。
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24楼2017-11-21 16:26:52
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汇利丰铜箔

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1、双面光铜箔的光洁度一般在0.4微米左右.  2 、铜箔的厚度并不是均匀的，各点测出来的都不一样。 3、是否考虑用测重法计算出溅射层厚度的平均值？
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25楼2017-12-20 11:20:07
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迟钝的天才2楼
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wimar5楼
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nono20099楼
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zl198892422楼
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