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大家有没有用过数字全息显微镜DHM？做微纳表征MEMS方面的
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做MEMS微纳表征的一般都是白光干涉仪WLI、激光扫描共聚焦显微镜CLSM、原子力显微镜等工具，16年北大买了一台全息显微镜来做搭建平面应力鼓膜的研究，清华也买了一台做MEMS。关于这些仪器的差别，这边有一个对比： 简介 数字全息显微镜 (DHM®  为静态三维形貌测量提供干涉测量级的亚纳米分辨率。得益于独特的非扫描全息技术，DHM®的图像抓取时间极短，最快可达1毫秒，这一特性在MEMS方向拥有独特的优势。是测量微纳三维动态形貌的一种新的手段。DHM VS 扫描显微系统： DHM实时3 d动态轮廓仪通过以高时间分辨率测量三维形貌克服了任何扫描方法的局限性。 白光干涉仪(WLI) 共聚焦激光扫描显微镜(CLSM) 接触式表面光度仪 特征 DHM® 扫描系统 时间分辨测量 √ × 大的区域acc.达到ISO标准 Seconds minutes 快速筛选大量样品 √ × 无振动系统不敏感 √ × DHM® VS白光干涉仪(WLI) 另外相比任何扫描方法的优势，DHM®至少有2 点 相比WL的I主要区别： DHM®相干长度是400μm，而WLI只有15μm。实际上，这意味着与DHM®，集中焦点比得上标准的光学显微镜。相反，使用WLI，用户需要搜索条纹，倾斜样本使样本在这个小范围内测量表面。 DHM®是一个更灵活的工具，因为它使用物镜通过玻璃或者浸入式从光学显微镜测量。WLI要求特定的干涉仪目标，有限且复杂的玻璃补偿。 Features DHM WLI 时间分辨测量 √ × 样品设置，不需要倾斜样品 √ × 直观聚焦的大垂直可视化范围 √ × 用标准光学显微镜对玻璃进行测量 √ × 可拆卸和灵活的仪表头 √ × DHM® VS共聚焦激光扫描显微镜（CLSM） 另外除了任何相比扫描方法优势，DHM®相比CLSM至少2关键差异 DHM®垂直分辨率并不依赖于放大倍数，即在显微镜物镜的数值孔径(NA)。与此相反，CLSM的垂直分辨率依赖于焦点的深度，而其会降低物镜的NA。 DHM®垂直分辨率达到亚纳米精度，而CLSM使用高NA物镜最终的垂直分辨率样品形貌分辨率几个纳米 是 Features DHM CLSM 时间分辨测量 √ × 对曲率的数字补偿有很大的深度 √ × 可拆卸和灵活的仪表头 √ × DHM® VS接触式轮廓仪 除了相比任何扫描方法的优势外，DHM®是一个非接触式光学表面光度仪，因此方法防止任何接触损害。与触点测量仪(如触控器和AFM)的测量，可能会因表面的弹性变形、尖端的污垢或损坏的尖端而受到影响。 Features DHM® Contact profilometer 时间分辨率测量 √ × 快速筛选表面，寻找感兴趣区域 √ × 通过玻璃和浸入式测量 √ × 非接触、无损方法 √ × 附： DHM性能参数简介 重建速率 标准20 fps (1024 x 1024 pixels hologram) (optional up to 50 fps). 垂直分辨率 0.2 nm 垂直校准 由波长决定，无机械运动校准 垂直测量范围（非扫描） • 连续结构高至200μm • 台阶高至15μm 垂直测量范围（扫描） 高至1mm，取决于样品台Z轴 水平分辨率 取决于物镜，低至300nm Field of view 取决于物镜，最大 5 mm x 5 mm Min. sample reflectivity Less than 1% * 1 measurement is the average of 10 acquisitions |
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