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wangying01

金虫 (小有名气)

[交流] 1nm的膜厚

高分辨x射线衍射能测定1nm的膜厚吗?还有其他能1nm的膜厚的手段吗?请高人指教啦!
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wangying01

金虫 (小有名气)

怎样才能精确测量
2楼2009-02-16 20:40:30
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yhw9102

木虫 (小有名气)

用X射线全反射可以测
先不提准确度
1nm厚的膜层能做得很均匀吗?
基体的粗糙度如何呢?
3楼2009-02-17 16:29:22
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dingyanhuai

木虫 (小有名气)

用AFM可以,这个我试过
4楼2009-02-17 16:45:02
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yhw9102

木虫 (小有名气)

用AFM测呢 需要有膜和基体之间的台阶
还有呢 基体和膜的粗糙度都要很低才可以
5楼2009-02-19 09:56:52
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lqllinqiaoli

至尊木虫 (著名写手)

可以用AFM,原子力显微镜,或者台阶仪DEKTAK
6楼2009-02-19 10:47:41
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life

一个简单的方法就是做HRTEM,这个最能说明问题
xxxxxxxxxxxxx
7楼2009-02-19 12:58:05
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