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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 1nm的膜厚
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wangying01

金虫 (小有名气)

[交流] 1nm的膜厚

高分辨x射线衍射能测定1nm的膜厚吗？还有其他能1nm的膜厚的手段吗？请高人指教啦！
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1楼 2009-02-16 19:24:17
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wangying01

金虫 (小有名气)
怎样才能精确测量
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2楼2009-02-16 20:40:30
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yhw9102

木虫 (小有名气)
用X射线全反射可以测
先不提准确度
1nm厚的膜层能做得很均匀吗？
基体的粗糙度如何呢？
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3楼2009-02-17 16:29:22
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dingyanhuai

木虫 (小有名气)
用AFM可以，这个我试过
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4楼2009-02-17 16:45:02
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yhw9102

木虫 (小有名气)
用AFM测呢 需要有膜和基体之间的台阶
还有呢 基体和膜的粗糙度都要很低才可以
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5楼2009-02-19 09:56:52
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lqllinqiaoli

至尊木虫 (著名写手)
可以用AFM，原子力显微镜，或者台阶仪DEKTAK
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6楼2009-02-19 10:47:41
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life
一个简单的方法就是做HRTEM，这个最能说明问题
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xxxxxxxxxxxxx
7楼2009-02-19 12:58:05
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