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SEM拍照问题
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用sem拍照时,还没来得急拍照,就把膜打出裂纹,再高点倍数到3000或5000时就很快出现很多泡泡,聚焦时就会被打坏,测的是膜的断面,此膜喷了三次金,刚开始以为是电压问题,把电压调到5kv后,这样的情况依然存在,如下图 发自小木虫IOS客户端 |
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gxytju2008
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4楼2017-09-25 10:27:01
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rky
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