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XRD测薄膜应力
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jiangpengju
新虫
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专业: 无机非金属类光电信息与功
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XRD测薄膜应力
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在聚合物上面镀了合金薄膜,但是基底容易翘曲,想测薄膜应力,请问大牛,XRD能测么?
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1楼
2017-09-19 08:47:35
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ddt2006
新虫
(正式写手)
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虫号: 1646487
注册: 2012-02-27
专业: 金属结构材料
明显有应力,改进镀膜工艺,然后取不翘曲和翘曲的对比,可以得知不翘曲的残余应力。只测残余应力解决不了问题吧
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5楼
2017-09-19 17:08:18
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13813921817
木虫之王
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性别: GG
专业: 高分子助剂
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
可以
X射线衍射仪测量应力或应变,利用Bragg 衍射公式求出薄膜 微晶体晶面间距的变化
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2楼
2017-09-19 08:58:49
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wjm1992o2
金虫
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
你好,我这边可以测薄膜的残余应力,联系方式私信给你吧
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3楼
2017-09-19 09:27:43
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mobirthte
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纵使神明在此,我亦要胜他半子
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专业: 胶体与界面化学
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可以的吧,利用bragg衍射公式或者一些软件可以直接模拟分子的晶格结构,然后在模拟薄膜的相关参数!!
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全自动曲率光速飞船,全宇宙限量1台,看看也不亏(ETO宣)
4楼
2017-09-19 11:54:41
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