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LHH~

新虫 (初入文坛)

[求助] 求可以进行维纳加工的厂商或科研单位

课题组需要几块光栅,要求如下
1   以石英为基底,周期为270 nm, 290nm,300nm,320nm
2   周期300 nm做三个光栅,其fill factor分别为:25%,50%,75%)。Fill factor为刻蚀部分长度占总周期的比例;270 nm, 290 nm, 320 nm的Fill factor全部为50%;
3  每一个光栅尽量能做到1.5 mm*1,5 mm以

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amison

木虫 (正式写手)

建议用阿里巴巴搜一下,并确认好误差
人啊。。。。。。。。。
2楼2017-09-18 16:17:38
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