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[求助]
求可以进行维纳加工的厂商或科研单位
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课题组需要几块光栅，要求如下 1 以石英为基底，周期为270 nm， 290nm，300nm,320nm 2 周期300 nm做三个光栅，其fill factor分别为：25%，50%，75%）。Fill factor为刻蚀部分长度占总周期的比例；270 nm, 290 nm, 320 nm的Fill factor全部为50%； 3 每一个光栅尽量能做到1.5 mm*1,5 mm以 发自小木虫Android客户端 |
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amison
木虫 (正式写手)
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2楼2017-09-18 16:17:38