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lj293815

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控粒子溅射仪的使用问题。 已有1人参与

IXRF-MSP-2S 型的磁控粒子溅射仪,靶材是铂,在操作过后,  沉积在玻璃上的颜色较黑。不知道是什么问题。
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

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个人认为有几个可能:一是靶材的纯度不够,含氧量偏高;二是靶材密实度不够,存在一定量的气孔;三是溅射室的真空度不够高或高纯氩气纯度不够;四也可能是溅射的薄膜颗粒极细,表面又较为粗糙,从而显示黑色(铂材料的极细粉末就显示为黑色)。
2楼2017-09-16 09:49:51
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