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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控电源如何选型计算啊？有哪位大神知道吗
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JKJKJK

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控电源如何选型计算啊？有哪位大神知道吗 已有4人参与

矩形平面靶，金属靶材，选直流电源的话，选多大功率的呢？有没有什么依据呢

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1楼 2017-09-14 20:34:29
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
2楼2017-09-14 20:45:23
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JKJKJK

新虫 (初入文坛)
有计算公式吗？

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3楼2017-09-14 20:56:01
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
金属靶材一般最大10-20w/cm2

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4楼2017-09-16 07:14:16
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般多试验几次就出来了，不同金属的功率还都不一样呢
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5楼2017-09-25 13:53:45
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sciencetechn

新虫 (小有名气)
金属靶材溅射功率一般在10-20w/cm2，如果有背板，注意温度不要太高，太高会把焊接的铟熔化了。溅射功率可以慢慢身高，预溅射的时候可以调整功率，以达到最佳的成膜效果
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），北京金源新材
6楼2017-10-17 17:13:13
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