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nanson7588

新虫 (小有名气)

[交流] 如何精确测量油层厚度 已有1人参与

油量很少,控制的油层厚度在0.2mm左右,收集在硅片上或者平底的坩埚上。现在的问题是1、收集到的油会集中在硅片中间,而不会平摊在硅片上。2、当油液收集在坩埚内,油会集中在坩埚转角或者边上,也不会平均的分布在坩埚上。现在想通过1寻找一个可以让油层平均分配在硅片或坩埚的方法2一种测量油层厚度的方法(很微量)。

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gumpbuild

铁虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可否对硅片或其他衬底做表面处理?

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Where the love is,there the god is
2楼2017-09-12 18:15:34
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gumpbuild

铁虫 (职业作家)

Where the love is,there the god is
3楼2017-09-12 18:16:12
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nanson7588

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gumpbuild at 2017-09-12 18:15:34
可否对硅片或其他衬底做表面处理?

硅片是抛光硅片,并且浸泡在六甲基二硅氮烷进行疏水性处理20分钟。还是会出现这个问题。

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4楼2017-09-12 18:44:37
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nanson7588

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by gumpbuild at 2017-09-12 18:16:12
可否用椭偏测厚?

没用过,这个可以测油层厚度的是吧?操作难度怎么样?

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5楼2017-09-12 19:06:12
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nanson7588

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by gumpbuild at 2017-09-12 18:16:12
可否用椭偏测厚?

没用过,这个可以测油层厚度的是吧?操作难度怎么样?

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6楼2017-09-12 19:06:26
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