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一层黑色膜

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于装饰镀膜出现的品质异常

反应溅射(懂PVD的人进)
电源为普斯特中频电源
膜层结构为
Cr                        
W+cr+乙炔
W+乙炔
货件材质为不锈钢
工作气体为氩气,反应气体为乙炔
做某款货件容易出现边角(四个角,很小的位置)发白,请问有遇到过类似情况的朋友吗?怎么解决的
没有图片可以提供,希望能遇到有类似经验的同行分享下解决过程

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薄膜制备与特性

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北河

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果只有四个角发白的话,看看材料四个角有没有毛刺,在镀膜时发生尖端放电

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2017-09-25 14:33:33
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一层黑色膜

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 北河 at 2017-09-25 14:33:33
如果只有四个角发白的话,看看材料四个角有没有毛刺,在镀膜时发生尖端放电

你说的应该是清洗没弄干净,可以肯定清洗干净了

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3楼2017-09-28 20:38:08
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15012743492

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

建议你把打底层的偏压和占空比降一点
4楼2017-10-16 11:44:41
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