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霸天虎123

铜虫 (小有名气)

[交流] 做的氮化钛，最近有一些斑斑点点的孔，是怎么回事？ 已有1人参与

请各位师兄师姐解答一下。谢谢师兄师姐。

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1楼 2017-09-04 09:59:04
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
2楼2017-09-04 10:14:31
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2017-09-04 10:14:31
是薄膜还是块体啊

基底薄膜，

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3楼2017-09-04 23:21:16
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 霸天虎123 at 2017-09-04 23:21:16
基底薄膜，
...

看着上边有小孔，但是在有的温度下镀的薄膜很不错，但是大部分基底在光下看有小孔

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4楼2017-09-04 23:22:55
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 091820053 at 2017-09-04 10:14:31
是薄膜还是块体啊

我是做磁控溅射，是不是功率高还是功率低？还是其他原因

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5楼2017-09-04 23:24:11
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