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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 镀膜玻璃断面分析
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alexwang123

铜虫 (初入文坛)

[求助] 镀膜玻璃断面分析 已有2人参与

现有“玻璃基底表面镀膜”样品，基底厚度3mm，薄膜厚度20nm，想做薄膜的断面成份分析。请问可以实现吗？

分切玻璃需要什么设备吗，还是用玻璃刀就可以？

分切后断面是否需要打磨抛光，用什么设备？

如果打磨的话，断面处薄膜是否有破碎风险，如何避免？

以上，请大家帮忙解答。

谢谢！@dut_ameng
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1楼 2017-09-01 11:33:30
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
alexwang123: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-09-12 11:34:19
个人感觉恐怕不好做这个薄膜的断面的成分分析。因为薄膜厚度太薄了，能谱EDS的作用范围在微米量级，因此在打能谱时会不可避免地打到玻璃上，导致得到的数据失真。
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2楼2017-09-01 16:59:20
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alexwang123

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-09-01 16:59:20
个人感觉恐怕不好做这个薄膜的断面的成分分析。因为薄膜厚度太薄了，能谱EDS的作用范围在微米量级，因此在打能谱时会不可避免地打到玻璃上，导致得到的数据失真。

感谢您的指教。
您所说EDS空间分辨率为微米级，所以无法做纳米级断面分析。请问有其他测试方法可参考吗？

另，现在第一关心的问题是如何取得可用来测试的断面样品。因为膜层太薄，断面处薄膜容易碎裂。请问您有什么建议吗？

谢谢！

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3楼2017-09-01 17:25:28
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纠结的小徐

木虫 (著名写手)
可以用斜口钳剪开，我们测断面电镜都是这么做的。

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………
4楼2017-09-01 18:26:45
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alexwang123

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 纠结的小徐 at 2017-09-01 18:26:45
可以用斜口钳剪开，我们测断面电镜都是这么做的。

麻烦能详细讲解一下方法吗？谢谢！
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5楼2017-09-12 11:35:07
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lu06024150

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

查看断面形貌可以直接断开，多放几个，总有一段是好的（这个不用担心）；想看成份的话肯定不能用EDS，直接在平面上做XPS，然后根据膜层厚度做不同深度的XPS（设备都带有溅射功能的）就可以了
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6楼2017-11-03 10:41:53
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