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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 氩气流量大的话不能启辉，倒是氩气流量小的时候能启辉？
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霸天一梦

新虫 (初入文坛)
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氩气流量大的话不能启辉，倒是氩气流量小的时候能启辉？
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请问各位师兄师姐们这个怎么解释，一般情况下不是氩气流量大的情况启辉不是更容易，我镀TiN就遇到这种情况？也不知道什么原因？

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1楼 2017-08-28 20:33:09
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
★
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在一定的程度，流量大肾容易启辉，但是流量过大，被电离的氩离子受到腔室中大量的离子阻碍，无法撞击靶材而不能启辉。只有适量的流量才能启辉

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21楼2017-08-28 20:59:50
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pandongzi2楼
2017-08-28 20:33   回复  
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dongmings3楼
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4182362854楼
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longcyz5楼
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爱豆豆爱学习8楼
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zhulg129楼
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yaoyao14510楼
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Materials11楼
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钦点木瓜17楼
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WinTey92920楼
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xiupeiyang22楼
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风之囚徒23楼
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流风恒24楼
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