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霸天一梦

新虫 (初入文坛)


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氩气流量大的话不能启辉,倒是氩气流量小的时候能启辉?
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请问各位师兄师姐们这个怎么解释,一般情况下不是氩气流量大的情况启辉不是更容易,我镀TiN就遇到这种情况?也不知道什么原因?

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在一定的程度,流量大肾容易启辉,但是流量过大,被电离的氩离子受到腔室中大量的离子阻碍,无法撞击靶材而不能启辉。只有适量的流量才能启辉

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21楼2017-08-28 20:59:50
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pandongzi2楼
2017-08-28 20:33   回复  
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dongmings3楼
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longcyz5楼
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onesaid6楼
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yes98yes7楼
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zhulg129楼
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Materials11楼
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hydzp13楼
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xzfsanjiao18楼
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WinTey92920楼
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xiupeiyang22楼
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流风恒24楼
2017-08-28 21:01   回复  
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