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joe_gege

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 已有1人参与

在玻璃基片上磁控溅射几十纳米厚的Bi,不同溅射功率,时间,偏压,气压下,薄膜都一擦就掉,为什么呢?是因为Bi的熔点低吗?

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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)

2楼2017-08-27 14:55:05
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2008100266

木虫 (正式写手)

可以试一下往铜片上沉积。

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3楼2017-08-28 07:09:39
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
个人认为,铋的热胀系数为14E-06左右,而工业玻璃的热胀系数仅为0.5-4.0E-06左右,两者相差两三倍以上,由此导致玻璃和薄膜之间的接触面上的热应力太大,导致薄膜粘不牢玻璃的表面而脱落。另外,薄膜对玻璃表面的润湿性不佳也可能是原因之一。
4楼2017-08-28 11:25:52
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