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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 磁控溅射
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joe_gege

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 已有1人参与

在玻璃基片上磁控溅射几十纳米厚的Bi，不同溅射功率，时间，偏压，气压下，薄膜都一擦就掉，为什么呢？是因为Bi的熔点低吗？

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1楼 2017-08-27 13:29:51
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
要干什么……

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2楼2017-08-27 14:55:05
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2008100266

木虫 (正式写手)
可以试一下往铜片上沉积。

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3楼2017-08-28 07:09:39
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
个人认为，铋的热胀系数为14E-06左右，而工业玻璃的热胀系数仅为0.5-4.0E-06左右，两者相差两三倍以上，由此导致玻璃和薄膜之间的接触面上的热应力太大，导致薄膜粘不牢玻璃的表面而脱落。另外，薄膜对玻璃表面的润湿性不佳也可能是原因之一。
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4楼2017-08-28 11:25:52
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