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yeyoyo

新虫 (初入文坛)

[交流] 请教溶胶凝胶法制备TiO2薄膜

我用提拉法在玻璃基片上制备TiO2薄膜,室温下干燥后置于500℃下处理2h。
所制得的薄膜(约有600nm厚)用XRD检测不出明显的TiO2信号。请问是什么原因,是薄膜太薄了还是结晶度不好?如果结晶度不好,应如何改进制备方法呢?
希望有经验的帮我提提意见。谢谢!
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yusen_1982

荣誉版主 (职业作家)

小木虫最高学位委员会主席

★ ★
催化大师(金币+2,VIP+0):呵呵,谢谢指点啊 2-17 19:34
可能薄膜太薄,如果一次提拉薄膜大概只有150nm左右,500℃下处理2h一般情况下应该结晶了的,不知道热处理冷却方式怎么样,随炉冷却一般都会结晶。建议做XRD的时候略射角设小一些
路漫漫其修远兮吾将上下而求索
4楼2009-02-17 17:39:40
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yongxa

木虫 (正式写手)

★
^_^@^_^(金币+1,VIP+0):多谢回复! 2-17 10:42
尝试下多次负载,提高焙烧温度,延长焙烧时间
估计是晶化不好。
2楼2009-02-14 07:56:16
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zhangwengui330

荣誉版主 (职业作家)

优秀版主

★ ★
催化大师(金币+2,VIP+0):呵呵,谢谢指点啊 2-17 19:34
你的基板是玻璃的,一定要注意焙烧温度,你550度没有烧熔??
要是烧熔表面所载物质很容易与其发生固相反应或者塌陷进去,薄膜本来就薄,加上可能结晶度不高,恐怕就很难用XRD得到尖锐谱了

[ Last edited by zhangwengui330 on 2009-2-17 at 18:08 ]
5楼2009-02-17 18:06:37
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yongxa

木虫 (正式写手)

★
hr5898(金币+1,VIP+0):感谢继续关注! 2-19 00:21
按理说你那个温度已经适合形成锐钛矿了
你看看你的炉子是否正常,换个炉子在同样温度下试试!
6楼2009-02-18 09:37:24
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