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Gavin6152金虫 (小有名气)
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将两层膜的热扩散系数分离
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| 在12微米的Mo箔上用磁控溅射的方法镀了一层5微米的薄膜构成复合薄膜,现测得复合薄膜和Mo箔的热扩散系数,(不知道薄膜的密度)请问怎样将所镀薄膜的热扩散系数分离出来?谢谢 |
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薄膜制备与特性 | PVD工艺探究 |
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