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关于钝 化层在高温下的绝缘特性
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主要是想了解SOI材料在高于500度的环境下工作是否可行,高温下是否会使得二氧化硅绝缘特性变差,原理是什么呢? 主要是二氧化硅薄膜的质量好坏影响,还是这种材料在高温下的绝缘特性就是不好? |
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