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关于钝 化层在高温下的绝缘特性
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主要是想了解SOI材料在高于500度的环境下工作是否可行，高温下是否会使得二氧化硅绝缘特性变差，原理是什么呢？ 主要是二氧化硅薄膜的质量好坏影响，还是这种材料在高温下的绝缘特性就是不好？ |
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