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huan_f

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜后,如何处理使镀的薄膜表面平整光滑?

如题,除了通过热处理、控制溅射工艺参数使薄膜平整光滑外,还有没有其他物理、机械方法使镀的薄膜变得平整,即降低表面粗糙度!
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眉毛上的汗水眉毛下的泪水你总得选一样
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
huan_f: 金币+3, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2017-11-21 16:33:53
看你需要什么级别的平整度了。
机械方式可以打磨抛光,还可以磁性磨料抛光;
还可以化学抛光,电化学抛光;
还可以液相法电镀厚的打底层,还可以喷涂有机打底层。

都能实现表面粗糙度降低,根据工艺需要及限制选择。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2017-11-16 17:36:56
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