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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 磁控溅射镀膜后，如何处理使镀的薄膜表面平整光滑？
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huan_f

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜后，如何处理使镀的薄膜表面平整光滑？

如题，除了通过热处理、控制溅射工艺参数使薄膜平整光滑外，还有没有其他物理、机械方法使镀的薄膜变得平整，即降低表面粗糙度！
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眉毛上的汗水眉毛下的泪水你总得选一样
1楼 2017-08-22 21:15:09
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
huan_f: 金币+3, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2017-11-21 16:33:53
看你需要什么级别的平整度了。
机械方式可以打磨抛光，还可以磁性磨料抛光；
还可以化学抛光，电化学抛光；
还可以液相法电镀厚的打底层，还可以喷涂有机打底层。

都能实现表面粗糙度降低，根据工艺需要及限制选择。
赞一下(1人) 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2017-11-16 17:36:56
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