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请问在芯片上制作的电极
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我最近看的专利是关于传感器芯片制作的,上面有一句话写着“保护层形成在CrNiAu-铅(LIMA:SiAlOx)上”CrNiAu-铅(LIMA:SiAlOx)这句话我怎么都理解不了。 首先, CrNiAu应该是电极材料,他指的是三层,还是一种合金材料呢,应该是什么合金? 其次,铅是做什么用的呢? 还有 ,LIMA和SiAlOx都分别是什么意思呢? 实在迷糊的很,还请大家赐教! |
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