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hc710

金虫 (小有名气)

[求助] EBIC文献求助-EBIC图象的直接观察与分析

作者

刘永宽  


摘要

本文通过实验,直接利用扫描电镜已有的吸收电流放大器获得EBIC讯号,对集成电路的P—N结完整性及P—N隔离区质量进行了观察,并对实验原理进行了浅显的分析。




出版源

《电子显微学报》  , 1985 (1) :63-66


被引量

1


谢谢
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我是一只早起的虫
1楼 2017-08-10 22:26:59
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zfnqhsz54
2楼2017-08-18 07:11:58
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zfnqhsz54
3楼2017-08-19 05:30:33
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zfnqhsz54
4楼2017-08-21 03:50:24
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hc710

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zfnqhsz54 at 2017-08-21 03:50:24

？
5楼2017-08-21 16:32:56
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hc710

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zfnqhsz54 at 2017-08-19 05:30:33

能下载不？
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我是一只早起的虫
6楼2017-08-21 16:33:25
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