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hc710金虫 (小有名气)
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[求助]
EBIC文献求助-EBIC图象的直接观察与分析
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作者 刘永宽 摘要 本文通过实验,直接利用扫描电镜已有的吸收电流放大器获得EBIC讯号,对集成电路的P—N结完整性及P—N隔离区质量进行了观察,并对实验原理进行了浅显的分析。 出版源 《电子显微学报》 , 1985 (1) :63-66 被引量 1 谢谢 |
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hc710
金虫 (小有名气)
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- 虫号: 1291501
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6楼2017-08-21 16:33:25