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sx韩

新虫 (初入文坛)

[求助] 〔求助〕请教薄膜材料气敏测试的问题 已有2人参与

请教各位做气敏的虫友们,用ws-30a.测试系统怎么测试在硅片的生长的薄膜的气敏性能?(实验室的仪器只能测试管式的,打电话咨询工程师说需要改装ws-30a才可以测平面式。)我看文献有用叉指电极的,但是我在这方面完全不了解,如何确定叉指电极参数等完全不懂,请大家指教,万分感谢!

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mecart

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

线宽线距,电容量等,具体结果看测试数据反馈
2楼2017-09-05 17:29:08
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中大电子封装

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

内容已删除
3楼2017-09-07 16:35:30
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