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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 〔求助〕请教薄膜材料气敏测试的问题
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sx韩

新虫 (初入文坛)

[求助] 〔求助〕请教薄膜材料气敏测试的问题 已有2人参与

请教各位做气敏的虫友们，用ws-30a.测试系统怎么测试在硅片的生长的薄膜的气敏性能？（实验室的仪器只能测试管式的，打电话咨询工程师说需要改装ws-30a才可以测平面式。）我看文献有用叉指电极的，但是我在这方面完全不了解，如何确定叉指电极参数等完全不懂，请大家指教，万分感谢！

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1楼 2017-08-08 10:58:30
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mecart

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

线宽线距，电容量等，具体结果看测试数据反馈
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2楼2017-09-05 17:29:08
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中大电子封装

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

内容已删除
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3楼2017-09-07 16:35:30
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