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hit30木虫 (小有名气)
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砷化镓GaAs湿刻 已有1人参与
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湿刻有没有可能把GaAs加工成像图片里那种超深(100微米以上)的槽?图片里是Si的KOH刻蚀。请虫子们推荐一些相关GaAs湿刻的文献![]() ![]() Fig-15-KOH-etch-of-Si-with-138-m-m-deep-straight-trenches-showing-smooth.png |
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2楼2017-08-04 18:25:08
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木虫 (小有名气)
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- 专业: 固体无机化学
3楼2017-08-08 19:21:52
4楼2017-08-10 09:25:08













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