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hit30

木虫 (小有名气)

[求助] 砷化镓GaAs湿刻 已有1人参与

湿刻有没有可能把GaAs加工成像图片里那种超深(100微米以上)的槽?图片里是Si的KOH刻蚀。请虫子们推荐一些相关GaAs湿刻的文献

砷化镓GaAs湿刻
Fig-15-KOH-etch-of-Si-with-138-m-m-deep-straight-trenches-showing-smooth.png
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聆紫

新虫 (著名写手)

2楼2017-08-04 18:25:08
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hit30

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 聆紫 at 2017-08-04 18:25:08
在瑞典吗

这关注点不对啊.
3楼2017-08-08 19:21:52
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GinKooMEMS

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

请问线宽是多少? 我们的技术预计可以做,可否站内确认加工要求?
4楼2017-08-10 09:25:08
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