应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » az6130掩膜刻蚀问题
81/1返回列表
查看: 2166  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

边兆稳

新虫 (初入文坛)

[求助] az6130掩膜刻蚀问题 已有1人参与

az6130做掩膜用rie刻蚀2微米二氧化硅，刻蚀3*10分钟，刻蚀之后发现片子表面很油，显微镜下胶上有好多圆孔，并且有好多地方二氧化硅都有刻蚀，有大神知道是什么情况吗，怎么解决啊，按照刻蚀选择比1:3，3微米的胶厚是肯定够的啊

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-07-26 17:49:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

科了个研

铁虫 (小有名气)
有没有试试光刻显影之后后烘一下再去rie刻蚀？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2017-07-27 15:35:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

边兆稳

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 科了个研 at 2017-07-27 15:35:09
有没有试试光刻显影之后后烘一下再去rie刻蚀？

后烘2到5分钟都试了，不行

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2017-07-27 18:37:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
边兆稳: 金币+10, ★★★很有帮助 2017-07-28 12:33:17
看上去 胶收缩 ，出现针孔。 衬底 没有好好清洗一下。一般不会出现的
赞一下(1人) 回复此楼
业精于勤
4楼2017-07-28 09:15:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

边兆稳

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xuhaiming13 at 2017-07-28 09:15:40
看上去 胶收缩 ，出现针孔。 衬底 没有好好清洗一下。一般不会出现的

我仔细观察了一下，确实是针孔，但是洗的仔细也不是很有用啊，大神还有什么招没，

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2017-07-28 12:06:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

边兆稳

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xuhaiming13 at 2017-07-28 09:15:40
看上去 胶收缩 ，出现针孔。 衬底 没有好好清洗一下。一般不会出现的

胶收缩是什么原因啊

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2017-07-28 12:06:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

边兆稳

新虫 (初入文坛)
az6130掩膜刻蚀问题

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2017-07-28 12:10:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

边兆稳

新虫 (初入文坛)
显微镜下是这个样子的

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2017-07-28 12:11:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 边兆稳 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂 +3 vv迷 2026-03-21 4/200 2026-03-21 23:05 by f19980501
[考研] 269专硕求调剂 +5 金恩贝 2026-03-21 5/250 2026-03-21 22:37 by zhyzzh
[考研] 354求调剂 +6 Tyoumou 2026-03-18 9/450 2026-03-21 20:47 by lbsjt
[考研] 311求调剂 +3 勇敢的小吴 2026-03-20 3/150 2026-03-21 17:40 by ColorlessPI
[考研] 生物学一志愿985，分数349求调剂 +3 zxts12 2026-03-21 3/150 2026-03-21 16:34 by 33来了真来了
[考研] 085601调剂 358分 +3 zzzzggh 2026-03-20 4/200 2026-03-21 10:21 by luoyongfeng
[考研] 化学求调剂 +4 临泽境llllll 2026-03-17 5/250 2026-03-21 02:23 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +4 ydfyh 2026-03-17 4/200 2026-03-21 02:20 by JourneyLucky
[考研] 一志愿 西北大学 ，070300化学学硕，总分287，双非一本，求调剂。 +3 晨昏线与星海 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:46 by JourneyLucky
[考研] 药学383 求调剂 +3 药学chy 2026-03-15 5/250 2026-03-20 22:11 by 云游重阳
[考研] 329求调剂 +9 想上学吖吖 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:01 by luoyongfeng
[考研] 求调剂一志愿南京航空航天大学289分 +3 @taotao 2026-03-19 3/150 2026-03-20 21:34 by JourneyLucky
[考研] 材料学求调剂 +4 Stella_Yao 2026-03-20 4/200 2026-03-20 20:28 by ms629
[考研] 一志愿西安交通大学 学硕 354求调剂211或者双一流 +3 我想要读研究生 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:13 by JourneyLucky
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +7 困于星晨 2026-03-17 9/450 2026-03-20 17:38 by 无懈可击111
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-19 5/250 2026-03-19 23:51 by 23Postgrad
[考研] 0703化学调剂 +4 18889395102 2026-03-18 4/200 2026-03-19 16:13 by 30660438
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 290求调剂 +3 p asserby. 2026-03-15 4/200 2026-03-17 16:35 by wangkm
[考博] 26申博 +4 八6八68 2026-03-16 4/200 2026-03-17 13:00 by 轻松不少随
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭