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az6130掩膜刻蚀问题 已有1人参与
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az6130做掩膜用rie刻蚀2微米二氧化硅，刻蚀3*10分钟，刻蚀之后发现片子表面很油，显微镜下胶上有好多圆孔，并且有好多地方二氧化硅都有刻蚀，有大神知道是什么情况吗，怎么解决啊，按照刻蚀选择比1:3，3微米的胶厚是肯定够的啊 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2017-07-27 15:35:09
3楼2017-07-27 18:37:22
xuhaiming13
新虫 (初入文坛)
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- 专业: 环境微生物学
4楼2017-07-28 09:15:40
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