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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » az6130掩膜刻蚀问题
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边兆稳

新虫 (初入文坛)

[求助] az6130掩膜刻蚀问题 已有1人参与

az6130做掩膜用rie刻蚀2微米二氧化硅，刻蚀3*10分钟，刻蚀之后发现片子表面很油，显微镜下胶上有好多圆孔，并且有好多地方二氧化硅都有刻蚀，有大神知道是什么情况吗，怎么解决啊，按照刻蚀选择比1:3，3微米的胶厚是肯定够的啊

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1楼 2017-07-26 17:49:40
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科了个研

铁虫 (小有名气)
有没有试试光刻显影之后后烘一下再去rie刻蚀？

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2楼2017-07-27 15:35:09
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边兆稳

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 科了个研 at 2017-07-27 15:35:09
有没有试试光刻显影之后后烘一下再去rie刻蚀？

后烘2到5分钟都试了，不行

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3楼2017-07-27 18:37:22
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xuhaiming13

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
边兆稳: 金币+10, ★★★很有帮助 2017-07-28 12:33:17
看上去 胶收缩 ，出现针孔。 衬底 没有好好清洗一下。一般不会出现的
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业精于勤
4楼2017-07-28 09:15:40
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边兆稳

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xuhaiming13 at 2017-07-28 09:15:40
看上去 胶收缩 ，出现针孔。 衬底 没有好好清洗一下。一般不会出现的

我仔细观察了一下，确实是针孔，但是洗的仔细也不是很有用啊，大神还有什么招没，

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5楼2017-07-28 12:06:16
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边兆稳

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xuhaiming13 at 2017-07-28 09:15:40
看上去 胶收缩 ，出现针孔。 衬底 没有好好清洗一下。一般不会出现的

胶收缩是什么原因啊

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6楼2017-07-28 12:06:47
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边兆稳

新虫 (初入文坛)
az6130掩膜刻蚀问题

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7楼2017-07-28 12:10:55
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边兆稳

新虫 (初入文坛)
显微镜下是这个样子的

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8楼2017-07-28 12:11:19
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