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sunnyngan

捐助贵宾 (小有名气)

[交流] 关于在很薄的10微米厚的金属片加工微米孔 已有10人参与

有人知道哪里可以在很薄的10微米厚的金属片加工10-15微米孔,好像是激光打孔可以,但是联系不到,还望大家推荐。

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leng_yan

铜虫 (小有名气)

中科院微电子所
The man who has made up his mind to success will never say impossible
2楼2017-07-26 09:21:21
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carefu

荣誉版主 (著名写手)

什么金属?直接光刻+蚀刻行不行?具说激光加工相当贵~
3楼2017-07-28 15:48:23
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TEM分析测试

新虫 (小有名气)

4楼2017-07-30 07:12:02
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babyoflion

金虫 (著名写手)


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我觉得直接直接光刻刻蚀是最佳的方案,当然如果要求不太高的话,光刻加湿法腐蚀也不是不可以,另外一点就是激光打孔打15u的孔据我所知是实现不了的,就算是能打价格也是很昂贵
5楼2017-07-31 12:28:54
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来吧

银虫 (正式写手)


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用聚焦离子束FIB,可站内联系

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6楼2017-08-10 03:21:53
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zhjijun

新虫 (初入文坛)


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用聚焦离子束FIB
7楼2017-08-15 16:11:49
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459769617

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我们是做激光的,但是10-15um的孔有难度
让绝对无敌的传说能永远不会被打破,必须要战斗!!!
8楼2017-10-16 08:43:05
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lxw202

金虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by zhjijun at 2017-08-15 16:11:49
用聚焦离子束FIB

请提供一下联系方式!
9楼2017-12-15 10:47:36
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wyk2008xynu

铁虫 (小有名气)

10楼2017-12-15 14:14:38
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