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生产溅射靶材

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PLD，PVD及热蒸发，电子束蒸发实验耗材
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A、磁控溅射靶材：靶材纯度：3N-5N（99.9%-99.999%）；常规尺寸：φ25.4mm-φ101.6mm，具体尺寸可定制；生产工艺：熔炼锻造、热压烧结、凝胶注模等

金属靶材（3N-5N）：Au、Ag、Pt、Cu、Ti、Ni、Al、Fe、Co、Mn、W、Mo、Ta、Nb、In、Si、Ge、Se、Sn、Zr、Cr
氧化物靶材（4N）：FTO、ITO、IZO、AZO、VO2、SiO2、HfO2、TiO2、SnO2、Fe2O3、MoO3、Nb2O5、Ta2O5、Al2O3、NiO、CuO、ZnO

氮/碳/硫化物靶材（3N、4N）：TiN、AlN、Mg3N2、BN、Si3N4、SiC、B4C、TiC、WC、ZnS、MoS2、WS2、CdS、Cu2S

锂电池靶材（3N）：Li4Ti5O12、Li(1+x)Mn2O4、Li(1+x)NbO3、Li(1+x)CoO2、LiFePO4、LiPO4等
B、蒸发镀膜材料：材料纯度：3N-5N（99.9%-99.999%）；常规尺寸：金属丝材φ1.0和φ0.5mm，金属颗粒φ3*3、φ6*6及φ2*5mm；陶瓷颗粒φ1-3mm；生产工艺：拉丝切割、陶瓷粉碎等

蒸发金属（3N-5N）：Au、Ag、Pt、Cu、Ti、Ni、Al、Fe、Co、Mn、W、Mo、Ta、Nb、In、Si、Ge、Se、Sn、Zr、Cr、NiCr、NiFe、AlSi

陶瓷颗粒（3N、4N）：?TiN、AlN、Mg3N2、BN、SiC、B4C、TiC、ZnS、CdS、Cu2S、ITO、SiO2、HfO2、TiO2、Fe2O3、MoO3、Nb2O5、Ta2O5、Al2O3、NiO、CuO、ZnO等? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

PLD，PVD及热蒸发，电子束蒸发实验耗材


PLD，PVD及热蒸发，电子束蒸发实验耗材-1


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