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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 玻璃晶圆上做光刻
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da198919

木虫 (小有名气)

[求助] 玻璃晶圆上做光刻 已有2人参与

请问各位大神，有了解在玻璃晶圆上做光刻的么？最好是可以委托加工的，工艺要求最低是0.18um的。
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1楼 2017-07-18 10:46:27
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
0.18只能用电子束光刻了，除非你有钱找fab。
片子多大？图形总面积多少？
可以发私信，提醒看不到
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2楼2017-07-18 17:30:31
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普通回帖

天海星云

新虫 (初入文坛)
零度要求好高，如果是光学器件的话应该没有必要吧

发自小木虫Android客户端
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3楼2017-07-18 19:12:15
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
4楼2017-07-19 10:14:08
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da198919

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-07-18 17:30:31
0.18只能用电子束光刻了，除非你有钱找fab。
片子多大？图形总面积多少？
可以发私信，提醒看不到

就是想找fab加工的这种，用8寸的wafer
赞一下 回复此楼
5楼2017-07-24 11:22:08
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da198919

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天海星云 at 2017-07-18 19:12:15
零度要求好高，如果是光学器件的话应该没有必要吧

是计划在上面做图案，做芯片用的
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6楼2017-07-24 11:22:40
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da198919

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-07-19 10:14:08
这个可以探讨下，玻璃晶圆（几寸），0,18微米是设计尺寸还是其它？是直写还是要投影光刻？可以把具体要求提出来，大家帮着分析。

0.18um是fab厂加工能力达到就行，设计图案会再0.2um以上。这些在硅片上做都是OK的，现在是想在玻璃上尝试下。
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7楼2017-07-24 11:24:31
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mfnffaf32
8楼2017-08-19 20:48:46
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mawfq81
9楼2017-08-20 15:16:22
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epbdn14
10楼2017-08-20 18:24:12
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