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da198919

木虫 (小有名气)

[求助] 玻璃晶圆上做光刻 已有2人参与

请问各位大神,有了解在玻璃晶圆上做光刻的么?最好是可以委托加工的,工艺要求最低是0.18um的。
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
0.18只能用电子束光刻了,除非你有钱找fab。
片子多大?图形总面积多少?
可以发私信,提醒看不到
2楼2017-07-18 17:30:31
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天海星云

新虫 (初入文坛)

零度要求好高,如果是光学器件的话应该没有必要吧

发自小木虫Android客户端
3楼2017-07-18 19:12:15
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光刻电子

禁虫 (正式写手)

感谢参与,应助指数 +1
本帖内容被屏蔽

4楼2017-07-19 10:14:08
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da198919

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2017-07-18 17:30:31
0.18只能用电子束光刻了,除非你有钱找fab。
片子多大?图形总面积多少?
可以发私信,提醒看不到

就是想找fab加工的这种,用8寸的wafer
5楼2017-07-24 11:22:08
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da198919

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 天海星云 at 2017-07-18 19:12:15
零度要求好高,如果是光学器件的话应该没有必要吧

是计划在上面做图案,做芯片用的
6楼2017-07-24 11:22:40
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da198919

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 光刻电子 at 2017-07-19 10:14:08
这个可以探讨下,玻璃晶圆(几寸),0,18微米是设计尺寸还是其它?是直写还是要投影光刻?可以把具体要求提出来,大家帮着分析。

0.18um是fab厂加工能力达到就行,设计图案会再0.2um以上。这些在硅片上做都是OK的,现在是想在玻璃上尝试下。
7楼2017-07-24 11:24:31
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8楼2017-08-19 20:48:46
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9楼2017-08-20 15:16:22
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10楼2017-08-20 18:24:12
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