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关于CVD制备MoS2,新手求教
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新虫
(初入文坛)
应助: 0
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金币: 6
帖子: 4
在线: 6.3小时
虫号: 6492332
注册: 2017-05-10
专业: 半导体晶体与薄膜材料
[交流]
关于CVD制备MoS2,新手求教
已有4人参与
按照文献的做法(先磁控溅射制备Mo膜,然后CVD制备,加热硫粉,硫化Mo膜形成二硫化钼),事实上Raman检测得出并不是二硫化钼,只是在部分极小的斑点处检测到了二硫化钼。求问大神们这是怎么回事?
3-3.jpg
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1楼
2017-07-04 13:21:27
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瑶玲啊瑶玲
新虫
(初入文坛)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 1.5
帖子: 6
在线: 3.3小时
虫号: 4902561
注册: 2016-08-07
专业: 半导体材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
硫粉大约0.5克 三氧化钼大约1毫克 想办法让硫粉大量蒸发时,氧化钼的温度大概在650-700之间 就行
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6楼
2017-07-26 13:28:15
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