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908966815

新虫 (初入文坛)

[求助] 求指导 已有3人参与

采用磁控溅射的在Si片上溅射ITO薄膜，500纳米左右，用仪表测量导电性，竟然不导电。难道ITo薄膜导电性与溅射厚度有关吗？求大神指导

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1楼 2017-06-29 13:25:38
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yanda

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
有关的，一般膜层越厚，阻值越低。测试时表针轻触膜层即可，不要刺穿ITO膜。
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2楼2017-06-29 14:09:30
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这说明ITO靶材中氧化铟和氧化锡的相互掺杂的情况很差，因为只有掺杂了才能使导电性能好，而单独存在的氧化铟或氧化锡的电导率都很低。
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3楼2017-06-29 22:53:16
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
4楼2017-07-03 12:34:26
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