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908966815

新虫 (初入文坛)

[求助] 求指导 已有3人参与

采用磁控溅射的在Si片上溅射ITO薄膜,500纳米左右,用仪表测量导电性,竟然不导电。难道ITo薄膜导电性与溅射厚度有关吗?求大神指导

发自小木虫Android客户端
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yanda

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有关的,一般膜层越厚,阻值越低。测试时表针轻触膜层即可,不要刺穿ITO膜。
2楼2017-06-29 14:09:30
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这说明ITO靶材中氧化铟和氧化锡的相互掺杂的情况很差,因为只有掺杂了才能使导电性能好,而单独存在的氧化铟或氧化锡的电导率都很低。
3楼2017-06-29 22:53:16
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091820053

禁虫 (知名作家)

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4楼2017-07-03 12:34:26
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