| 查看: 2307 | 回复: 24 | ||||
| 当前主题已经存档。 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
chengyuanshi铁杆木虫 (著名写手)
高级工程师
|
[交流]
主要的多晶硅生产工艺
|
|||
|
1、改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法 改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。 国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产[wiki]电子[/wiki]级与太阳能级多晶硅。 2、硅烷法——硅烷热分解法 硅烷（SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松掌握此技术，由于发生过严重的[wiki]爆炸[/wiki]事故后，没有继续扩大生产。但美国Asimi和SGS公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。 3、流化床法 以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内（沸腾床）高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。 制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅产品。因为在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大，生产效率高，电耗低与成本低，适用于大规模生产太阳能级多晶硅。唯一的缺点是安全性差，危险性大。其次是产品纯度不高，但基本能满足太阳能电池生产的使用。 此法是美国联合碳化合物公司早年研究的工艺技术。目前世界上只有美国MEMC公司采用此法生产粒状多晶硅。此法比较适合生产价廉的太阳能级多晶硅。 4、太阳能级多晶硅新工艺技术 除了上述改良西门子法、硅烷热分解法、流化床反应炉法三种方法生产电子级与太阳能级多晶硅以外，还涌现出几种专门生产太阳能级多晶硅新工艺技术。 1）冶金法生产太阳能级多晶硅 主要工艺是：选择纯度较好的工业硅（即冶金硅）进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和碳杂质，直接生成太阳能级多晶硅。 2）气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅 主要工艺是：将反应器中的石墨管的温度升高到1500℃，流体三氯氢硅和氢气从石墨管的上部注入，在石墨管内壁1500℃高温处反应生成液体状硅，然后滴入底部，温度回升变成固体粒状的太阳能级多晶硅。 3）重掺硅废料提纯法生产太阳能级多晶硅 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 多晶硅产业 |
» 猜你喜欢
大连工业大学杰青/长江团队-生物质材料-储能电池方向招收2026级博士生
已经有1人回复
-
欢迎硕博咨询
已经有26人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有61人回复
-
求审搞机会
已经有4人回复
-
昆明理工大学冶能院离子液体冶金课题组招收博士生
已经有2人回复
-
博士自荐
已经有5人回复
-
锂电池正极材料前驱体法制备正极材料
已经有1人回复
-
浙江大学长江学者特聘教授黄飞鹤招聘博士后（年薪35万+）
已经有15人回复
-
深圳理工大学-湖南大学招收电化学方向联培博士生1名
已经有0人回复
-
2026年博士研究生招生补录
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
对吻鱼(金币+1,VIP+0):鼓励新虫交流，欢迎多来化工版哦~~~你可以升级了~~~ 9-11 11:20
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
对吻鱼(金币+1,VIP+0):鼓励新虫交流，欢迎多来化工版哦~~~你可以升级了~~~ 9-11 11:20
 多晶硅对于技术与材料的要求很高,我们国家往往比较浮躁的引入国外的技术,而自己的内力不够,不能消化吸收,更没有耐心去研发,片面地跟着国外潮流,往往人家赚了个大头,自己检点剩饭,到最后越做越烂,价格战的残忍是必须要面对的.而国外可能已经在转向其他的发展方向上了,我永远跟着人吃大亏. 为什么那么多钱不能做点基础的技术与材料的改进研究呢,我本来可以做的更专,更精. 而不是一哄而上重复国外的现成技术.而且我们每个单位,面铺的很广,结果做的什么也不是,研究的目的是为了更多科研经费,或者是更好地忽悠上面那些啥不懂的人,所谓的专家委员会也临时凑起来的. 我门的路在何方,我门一直是追赶者,而非领跑者. |
7楼2009-09-10 10:18:51
gorilla883
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1130.7
- 帖子: 215
- 在线: 40小时
- 虫号: 447811
- 注册: 2007-11-01
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2009-07-16 21:52:47
3楼2009-07-16 22:27:43
4楼2009-07-17 15:37:43
19