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新虫 (初入文坛)

[求助] 为了镀一光学膜,需本底真空度为10^-6pa,如何配置真空系统? 已有1人参与

为了镀一光学膜,需本底真空度为10^-6pa,如何配置真空系统?

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1楼 2017-06-25 09:42:07

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银虫 (知名作家)

感谢参与，应助指数 +1

推荐一个比较靠谱的配置，1.腔室不要太大，尽可能采用金属密封。2.采用进口分子泵，最好是德国普发的。
真空度基本能到1*10-6Pa或2*10-6pa左右。

2楼2017-06-27 15:35:32

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新虫 (正式写手)

我们是先用机械泵，然后用分子泵，大约一个半小时可以抽到4*10-4，后面就很慢了，你可以用离子泵

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3楼2018-06-13 06:11:11

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