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陌上烟雨,一

新虫 (初入文坛)

[求助] 为了镀一光学膜,需本底真空度为10^-6pa,如何配置真空系统? 已有1人参与

为了镀一光学膜,需本底真空度为10^-6pa,如何配置真空系统?

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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
推荐一个比较靠谱的配置,1.腔室不要太大,尽可能采用金属密封。2.采用进口分子泵,最好是德国普发的。
真空度基本能到1*10-6Pa或2*10-6pa左右。
2楼2017-06-27 15:35:32
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qyd东

新虫 (正式写手)

我们是先用机械泵,然后用分子泵,大约一个半小时可以抽到4*10-4,后面就很慢了,你可以用离子泵

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3楼2018-06-13 06:11:11
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