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920971502

木虫 (著名写手)

[交流] 关于非晶硅薄膜的制备的问题

小弟,最近制备非晶硅薄膜,请问各学长,(1)优质的非晶硅薄膜的光电流和暗电流在什么量级?光暗电导率分别是哪个量级?(2)通过哪些手段可以对非晶硅进行合理表征?请指教!!!
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beyondanycal

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
a-Si:H材料,首先要测试光、暗电导率,暗电导率在1E-11~1E-10 S/cm,光电导率一般在1E-5 S/cm,光敏性在100000~1000000之间。
进而可以通过光学测试得到Eg,FTIR测试得到氢含量、Si-H键合方式;系列材料可以测试Raman对比短程序、中程序。

这都是最基本的,a-Si:H材料的优化是一个系统工程。
天行牛
2楼2017-06-23 10:04:43
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