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wangbing108222至尊木虫 (正式写手)
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为什么溅射不上聚四氟乙烯薄膜?
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| 最近将聚四氟乙烯作为靶材,在金属上沉积聚四氟乙烯薄膜,但试了各种工艺条件以及各种基片都没有成功,用的是射频溅射,辉光都很正常。文献中的报道都是怎么做出来的呀? |
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薄膜制备与特性 |
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wangbing108222
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3楼2017-06-21 21:20:22
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wangbing108222
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