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脉冲激光沉积制钌酸锶薄膜 已有1人参与
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我现在用pld做钌酸锶薄膜，靶材到衬底距离是55㎜，我只能做出五十纳米以上的厚度，厚度一薄，XRD就没有衍射峰了，导师催的我焦头烂额，请各位大神帮帮忙，指教指教。 发自小木虫Android客户端 |
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ok12315
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2楼2017-07-12 15:43:44
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3楼2017-07-17 12:17:11
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PVD法做半导体材料，都是这样，起初都是非晶体，只有厚度到了一定程度，才会出现晶体，很薄还要是晶体，可以加大功率，提高反应温度，基底温度等方法，另外XRD测试也要注意不能用测粉体的方式测，要用小角度掠射专门用来侧薄膜的方式，反正我觉得pvd长不出好晶体 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2017-10-12 15:28:57
