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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 信息科学 » 电子科学 » 脉冲激光沉积制钌酸锶薄膜
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PLD少年

新虫 (初入文坛)

[求助] 脉冲激光沉积制钌酸锶薄膜 已有1人参与

我现在用pld做钌酸锶薄膜，靶材到衬底距离是55㎜，我只能做出五十纳米以上的厚度，厚度一薄，XRD就没有衍射峰了，导师催的我焦头烂额，请各位大神帮帮忙，指教指教。

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1楼 2017-06-21 11:53:03
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ok12315

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

你用的什么基板？沉积温度多少？我们组以前沉积薄膜遇到过刚开始是非晶，达到一定厚度之后才会生成单晶，你可以提升沉积温度或者增大激光强度，我做SrTiO3,600度以下就得不到单晶了，不过PLD不同设备参数相差比较大，仅供参考
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2楼2017-07-12 15:43:44
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生产溅射靶材

新虫 (初入文坛)
祝福楼主

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3楼2017-07-17 12:17:11
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861532525

铁虫 (初入文坛)
PVD法做半导体材料，都是这样，起初都是非晶体，只有厚度到了一定程度，才会出现晶体，很薄还要是晶体，可以加大功率，提高反应温度，基底温度等方法，另外XRD测试也要注意不能用测粉体的方式测，要用小角度掠射专门用来侧薄膜的方式，反正我觉得pvd长不出好晶体

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耐心，恒心
4楼2017-10-12 15:28:57
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