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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 信息咨询 » 磁控溅射时基片比样品台小可以吗?
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huan_f

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射时基片比样品台小可以吗?

磁控溅射时基片比样品台小可以吗?会不会有其他影响？
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眉毛上的汗水眉毛下的泪水你总得选一样
1楼 2017-06-19 11:15:15
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艺杰达人


发自小木虫IOS客户端
2楼2017-06-19 11:31:03
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
huan_f: 金币+5, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2017-06-21 10:42:03
huan_f: 金币+3, ★★★很有帮助 2017-11-21 16:34:33
磁控溅射时基片可以比样品台小，甚至可以小很多！没有影响。
赞一下(1人) 回复此楼
没有困难创造困难也要上网。
3楼2017-06-19 13:48:39
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yanda

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

几乎没有影响，一般都有夹具固定。但是根据气流大小，边部可能存在一点边缘效应。
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4楼2017-06-29 14:20:04
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