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[求助] 求解答 cvd中,碳是何机理沉积到硅表面的。 已有1人参与

求解答
cvd中,碳是何机理沉积到硅表面的。 @甄士隐207

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jiagle

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
冰点降温: 金币+1, 谢谢专家解答,辛苦了。 2017-06-16 11:09:39
菜菜鸟求教(冰点降温代发): 金币+5 2017-06-16 11:09:44
CVD机理基本上都是:
1.原料吸附;
2.原料迁移;
3.原料热解;
4.副产物解吸。
几乎没有太多的差异。
2楼2017-06-16 10:59:35
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