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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yanxingwei

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助!!!!!压电系数

测量薄膜时由于薄膜制作在衬底上,测量压电系数时怎么把衬底的效应取消啊?而且衬底会阻止薄膜的横向应变,横向变化小了,纵向变化是不是也受到影响变化也小?因为体积应该变化不大,薄膜不是正常的变化,这个不知道是不是会影响到D33的测量结果?
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hoil

铜虫 (小有名气)

如果薄膜较厚(大概大于500nm),基体对薄膜的影响较小,我认为可以忽略。
当厚度较小时,由于基体和薄膜的晶格常数或热导率的差别,导致了基体对薄膜性质的影响,例如:筹变或者压电系数等。
具体如何影响,查下相关文献就可以了。
2楼2009-01-15 14:32:26
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miloyy

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by yanxingwei at 2009-1-15 09:54:
测量薄膜时由于薄膜制作在衬底上,测量压电系数时怎么把衬底的效应取消啊?而且衬底会阻止薄膜的横向应变,横向变化小了,纵向变化是不是也受到影响变化也小?因为体积应该变化不大,薄膜不是正常的变化,这个不知 ...

肯定会受影响的,跟块材相比会变弱很多,膜越薄,测得的值越小。
你测出来是多少就是多少,没有必要进行修正
3楼2009-01-16 13:24:05
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