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chen_yanna

银虫 (小有名气)

[交流] 求助离子减薄仪的使用

不知各位大侠怎么使用离子减薄仪减薄薄膜样品是否有什么技巧?

我的样品做在硅基板,先在砂纸上磨薄,再使用离子减薄仪,但常常需要减薄两三天,比较浪费时间。

希望大家能够提供帮助,谈谈各自的经验,越详细越好。

在下在此谢过!
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hsbchsbc

木虫 (正式写手)

离子减薄之前要磨越薄越好,Si可以磨到大约20微米以下,甚至10以下。
2楼2009-01-15 03:56:59
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