应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于硅片（100）的刻蚀
41/1返回列表
查看: 868  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

云由水生

新虫 (小有名气)

[求助] 关于硅片（100）的刻蚀 已有1人参与

想在硅片上做微米级别的金字塔形凹槽，先旋涂什么胶然后曝光，然后用什么配方的硅刻蚀液刻蚀？
回复此楼

» 猜你喜欢
小草，即使被踩在脚下，也不失报春心
1楼 2017-06-13 14:38:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)
稀释的氢氟酸溶液

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
慎独
2楼2017-06-14 13:01:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
云由水生: 金币+10 2017-06-15 16:47:33
你这个需要用KOH各向异形腐蚀。光刻胶不能直接走掩膜，需要用SiN。
所以你可以买已经长好SiN的硅片，可以找研材微纳问问，他们应该有。
光刻胶的选择，要看你的分辨率要求，这个也要找他们咨询。或者你短信我，我帮你挑。
整个工艺流程是：长好SiN的100硅片，光刻，RIE，KOH腐蚀。
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2017-06-14 17:54:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

贪吃的小瓶儿

新虫 (初入文坛)
氮化硅片

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
4楼2017-06-16 13:01:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 云由水生 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭