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云由水生

新虫 (小有名气)

[求助] 关于硅片(100)的刻蚀 已有1人参与

想在硅片上做微米级别的金字塔形凹槽,先旋涂什么胶然后曝光,然后用什么配方的硅刻蚀液刻蚀?
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小草,即使被踩在脚下,也不失报春心
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)

慎独
2楼2017-06-14 13:01:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
云由水生: 金币+10 2017-06-15 16:47:33
你这个需要用KOH各向异形腐蚀。光刻胶不能直接走掩膜,需要用SiN。
所以你可以买已经长好SiN的硅片,可以找研材微纳问问,他们应该有。
光刻胶的选择,要看你的分辨率要求,这个也要找他们咨询。或者你短信我,我帮你挑。
整个工艺流程是:长好SiN的100硅片,光刻,RIE,KOH腐蚀。
3楼2017-06-14 17:54:15
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贪吃的小瓶儿

新虫 (初入文坛)

4楼2017-06-16 13:01:50
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