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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 关于AZO薄膜电阻-温度曲线的测量
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2608669691

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于AZO薄膜电阻-温度曲线的测量 已有2人参与

我想问一下AZO薄膜（用磁控溅射做的）电阻和温度R-T的曲线如何测量？AZO薄膜电阻变得很大，会是什么原因？（氧空位减少？）
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1楼 2017-06-08 17:24:46
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
AZO薄膜电阻变得很大，应该是氧化铝和氧化锌之间相互掺杂不成功导致氧空位浓度极低所致。氧化铝和氧化锌单独本身不导电，只有相互掺杂以后才能够导电。
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2楼2017-06-10 14:35:15
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中华小当家家

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一个恒温器+一块表即可测试。
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3楼2017-06-29 16:43:23
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