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cmshi

木虫 (著名写手)

[求助] 哪里有化学机械抛光设备CMP 已有3人参与

因课题研究需要,我们需要购置一台化学机械抛光设备,在网上找了找没找到,有木有同学买过或使用过或者见过这种设备,烦请提供下厂家,跪谢~~~

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天还没有亮,那是太阳在路上。
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314977903

版主 (职业作家)

小风子


【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by cmshi at 2017-06-10 09:01:38
不是普通的抛光机,要用化学试剂作为抛光液的,而且需要加热的
...

照你说的不会是那种超高端的设备吧?用于集成电路扁平化方面的抛光硅晶单元的那种?貌似那个非常贵啊。。。
以前好像见过,具体哪个厂家记不清楚了,我刚才搜索了下,中国电子科技集团可能有得卖吧,毕竟他们的研究所还申请过相关的专利……
不过据说近年来出现了小型化的设备,降低了自动化程度,便宜多了。但是因为俺不是干那行的,所以具体的不清楚了
8楼2017-06-10 10:35:19
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314977903

版主 (职业作家)

小风子


抛光仪??那种旋转式的CMP??那不是烂大街的便宜货么。。。
2楼2017-06-09 08:45:33
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cmshi

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 314977903 at 2017-06-09 08:45:33
抛光仪??那种旋转式的CMP??那不是烂大街的便宜货么。。。

不会吧,我怎么没见到过
天还没有亮,那是太阳在路上。
3楼2017-06-09 10:18:40
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314977903

版主 (职业作家)

小风子


引用回帖:
3楼: Originally posted by cmshi at 2017-06-09 10:18:40
不会吧,我怎么没见到过...

淘宝上就有很多吧,一台也就小几千块钱
4楼2017-06-10 08:20:58
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