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WSGJ2012

木虫 (初入文坛)

[求助] 扫描电镜喷金仪抽真空过程达不到目标压力 已有1人参与

如题,实验室使用的是日本电子JSM-6510扫描电镜,喷金仪也用的是日本电子的JFC-1600型号,但制样喷金过程中,真空泵很难抽真空到目标压力完成喷金过程,想求助下各位虫友,这是有什么原因导致的呢?真空泵的油至少有1年未更换过,是否更换泵油能改善?
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2楼2017-05-23 13:40:49
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