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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 扫描电镜喷金仪抽真空过程达不到目标压力
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WSGJ2012

木虫 (初入文坛)

[求助] 扫描电镜喷金仪抽真空过程达不到目标压力 已有1人参与

如题，实验室使用的是日本电子JSM-6510扫描电镜，喷金仪也用的是日本电子的JFC-1600型号，但制样喷金过程中，真空泵很难抽真空到目标压力完成喷金过程，想求助下各位虫友，这是有什么原因导致的呢？真空泵的油至少有1年未更换过，是否更换泵油能改善？
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1楼 2017-05-22 17:54:12
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匿名

用户注销 (著名写手)
感谢参与，应助指数 +1
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2楼2017-05-23 13:40:49
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