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[求助]
求助：GaAs HBT器件的尺寸参数
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本人最近在COMSOL中做GaAs HBT器件的热学仿真，参照的是稳懋的1μm InGaP/GaAs HBT工艺，根据版图可以知道器件的横向尺寸，但是工艺库手册中没有给出具体的纵向尺寸（比如发射极厚度，基极厚度等），在网上查也没有查到稳懋GaAs HBT工艺的具体尺寸参数。 所以请教各位虫友，不知有谁对GaAs HBT比较了解，能够提供相关的尺寸数据（最好是稳懋的），在下感激不尽！ |
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