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求助:GaAs HBT器件的尺寸参数
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本人最近在COMSOL中做GaAs HBT器件的热学仿真,参照的是稳懋的1μm InGaP/GaAs HBT工艺,根据版图可以知道器件的横向尺寸,但是工艺库手册中没有给出具体的纵向尺寸(比如发射极厚度,基极厚度等),在网上查也没有查到稳懋GaAs HBT工艺的具体尺寸参数。 所以请教各位虫友,不知有谁对GaAs HBT比较了解,能够提供相关的尺寸数据(最好是稳懋的),在下感激不尽! |
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