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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » Az5214E变颜色
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yang12

银虫 (小有名气)

[求助] Az5214E变颜色 已有2人参与

使用AZ5214E光刻胶做完全部步骤之后，在白光条件下发现光刻胶变成黄色的啦，但是平常做完是偏棕红的带有正胶本身颜色的呀。光刻显影坚膜之后，放在一个很亮的白光源显微镜下看过结构。所以求问发生了什么事情，这个光刻还能用不？

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1楼 2017-05-20 12:21:48
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天海星云

新虫 (初入文坛)
可能是这次光刻胶变薄了，你是在光刻之前镀的金属膜吗

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3楼2017-05-20 20:00:36
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yang12

银虫 (小有名气)
加一句，我的后续操作是在表面镀金属，求问会不会有影响。谢谢～
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2楼2017-05-20 18:50:44
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yang12

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天海星云 at 2017-05-20 13:00:36
可能是这次光刻胶变薄了，你是在光刻之前镀的金属膜吗

不是哇～是之后要做镀膜
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4楼2017-05-20 20:22:38
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我觉得应该是白光引起的。因为我平时用正胶的时候做完结构放到白光下好几天也有明显颜色变色
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5楼2017-05-21 16:33:40
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