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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 磁控溅射镀膜真空反弹
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菜鸟镀膜

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀膜真空反弹

请问老师磁控溅射通氩气练靶后关掉氩气真空反弹？

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1楼 2017-05-19 20:34:38
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lqm070
？

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2楼2017-05-23 13:32:07
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mirotest

新虫 (初入文坛)
练靶是什么意思，关掉氩气，腔室肯定又回到本底真空了吧
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专业制造真空镀膜设备，同时进行镀膜服务，膜层表征服务24小时电话：18211136588
3楼2017-05-23 15:41:43
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Hohenheim

新虫 (初入文坛)
靶材脱气

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4楼2017-07-07 22:35:04
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